EBIC 控制放大器设备-简介
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· 型号:KDT-EBIC-AMP-2024
· 分辨率:10pA
· 带宽:≤100KHz
· 跨阻增益档位:1MΩ/10MΩ/100MΩ/200MΩ
I
EBIC(电子束感应电流)控制放大器设备是与扫描电子显微镜(SEM)配合使用的高精度测量系统,主要用于集成电路失效分析中的电流信号放大和成像。
主要功能:扫描电子显微镜(SEM)、电流放大器、电真空馈通、控制与分析软件。
底噪测试
参数:输入悬空,跨阻增益 1M
高分辨率
EBIC技术可以提供高分辨率的失效点定位,有助于精确分析集成电路的失效原因
灵活性
EBIC技术可以与其他失效分析方法(如光学显微镜、曲线轨迹分析等)结合使用,提高分析的准确性和效率。
最大峰值输出
EBIC控制放大器优势:非破坏性,不会损坏集成电路的表面,可以保持样品的完整性
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